Системы серии VM-2200/3200 для спектроскопического измерения толщин пленок являются наиболее популярными в Японии. Модели в этой серии подходят как для измерения материала, так и для измерения тонких и многослойных пленок.
Линейка VM-2200/3200 предназначена для использования с полупроводниковыми пластинами диаметром от 75 мм до 300 мм и включает в себя полный ряд моделей от более простых, низкопроизводительных устройств до профессиональных систем высокого класса, что позволяет подобрать установку для любых производственных нужд – НИОКР или производства.
Высокая производительность
Модели серии VM-2200 способны обрабатывать до 150 полупроводниковых пластин в час в высокоскоростном режиме (в процессе пятиточечного измерения пластин SiО2).
Компактный дизайн
Модели серии VM-2200/3200 имеют эргономичный компактный дизайн, благодаря чему установка легко встраивается в имеющееся пространство, что значительно упрощает планировку производственной линии.
Простота обслуживания
Модели серии VM-2200/3200 имеют функцию регистрации событий, которая облегчает техобслуживание. Компания SCREEN на основании многолетнего опыта в полупроводниковой промышленности создала дизайн, благодаря которому проведение техобслуживания стало простым, как никогда. Системы были разработаны и произведены в Японии, доставка запасных частей осуществляется в другие страны мира, включая Россию, в максимально оперативном режиме.
Удобство и простота эксплуатации
Вы можете легко создать рецепт и ввести оптические константы благодаря опыту компании SCREEN в полупроводниковой промышленности. Программный продукт можно практически полностью контролировать с помощью мыши.
Обработка одной пластины
Систему можно настроить для единовременной обработки одной пластины.
Гибкий дизайн
Линейка VM-2200/3200 включает в себя полный ряд моделей, поэтому вы можете выбрать систему, которая подходит вам по цене и набору функций.
Размер пластины:
Диапазон измерения
*При необходимости проведения измерений свыше 20.000 нм, пожалуйста, свяжитесь с представителем компании.
Воспроизводимость измерений (ð)
Размер пятна измерения
Диапазон длин волн