Характеристики и описание
- Производитель
Сшивной интерферометр помогает клиентам измерять полномасштабную погрешность поверхности выпуклых линз диаметром 300 мм, полусферических и сферических линз в полях, объективы для литографии и объективы для ультрафиолетовых микроскопов.
Благодаря технологии сшивания и 5-осевого механизма движения, управляемого компьютером, прибор имеет большое поле зрения и может осуществлять обнаружение сферических линз большого диаметра, большого радиуса кривизны и большой числовой апертуры.
Техническая спецификация
|
Наименование параметра |
Значение |
|
Апертура интерферометра |
Диаметр 152 мм |
|
Максимальный тестовый калибр |
Диаметр 300 мм |
|
Источник света |
Гелий-неоновый лазер со стабилизацией частоты |
|
Длина волны |
632,8 нм |
|
Длина когерентности |
>100 м |
|
Эффективное разрешение камеры |
2 к*2 к |
|
Горизонтальное разрешение |
>3 пар линий/мм |
|
Оптическое увеличение |
1-6 раз |
|
Система юстировки |
Выравнивание сетки, выравнивание поле зрения ±30 |
|
Точность сферической линзы |
PV: Лучше, чем λ/20 |
|
Метод фазового сдвига |
Механический фазовый сдвиг |
|
RMS простая повторяемость |
<0,06 нм |
|
RMS повторяемость волнового фронта |
<0,6 нм |
|
Механизм движения |
Пятиосевой: X, Y, Z, наклон и вращение |
|
Перемещение по оси Z |
850 мм |
|
Электропитание |
100-240 В переменного тока, 2 кВт |
|
Габаритные размеры (длина, ширина, высота) |
1,5х1,1х2,8 м |
|
Вес |
1600 кг |
Доставка
Оплата и гарантии